中微半导体设备

一、公司介绍:       

       中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称“中微公司”,证券代码“688012”)是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司,为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备,可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础,它们正在彻底改变人类的生产方式和生活方式。

      公司网址:www.amec-inc.com

二、校友介绍:

      尹志尧(6203)公司董事长,总经理

      尹志尧博士于中国科学技术大学获得了物理化学学士学位,随后在北京大学化学学院完成了硕士学习。他还获得了加州大学洛杉矶分校的物理化学博士学位。尹志尧博士曾作为研究组组长就职于中科院。自2004年中微公司成立以来,尹志尧博士一直担任公司的董事长兼首席执行官。他将自己超过28年的产品开发和行政管理经验应用于公司管理,促进了半导体设备行业的发展。成立中微之前,尹志尧博士曾在应用材料公司任职13年,曾担任公司副总裁、等离子体刻蚀设备产品事业群总经理、亚洲区采购副总裁、应用材料亚洲首席技术官等。尹志尧博士于1984年第一次到硅谷,并加入了英特尔技术发展中心。1986年,他加入了Lam Research并引领了刻蚀技术的发展,同时为一些关键产品带来了解决方案。

      倪图强(7703)公司副总裁,等离子刻蚀产品事业总部总经理

      倪图强博士在中微担任副总裁暨刻蚀设备产品事业群副总经理。他主要领导用于高端电介质刻蚀的Primo D-RIE和Primo AD-RIE设备的研发和项目管理,目前着重于刻蚀工艺反应腔体技术、等离子体源、等离子体物理和等离子体化学方面的研发。加入中微之前,他曾在Lam Research公司新产品部门担任主要技术专家,并是Lam2300系列刻蚀产品的发明者之一。倪图强博士本科毕业于中国科学技术大学,之后在德州大学达拉斯校区获得了化学博士学位。

      苏兴才(8703)公司副总裁,CCP等离子刻蚀产品部总经理

      苏兴才博士目前担任中微副总裁兼介质刻蚀产品部总经理,主要管理和执行产品研发以满足和达到客户技术要求,此外,他还负责产品在客户端的应用核准以及售后技术支持。苏博士在中微历任介质刻蚀产品部技术及制程高级总监、执行总监。在加入中微之前,他曾在科林研发公司(Lam Research)担任大中华区介质刻蚀制程技术开发高级主管,有超过13年的资深工作经验。苏兴才博士于1998年从加州大学伯克莱分校获得物理化学博士学位,专攻表面科学和催化反应;他于1992年获得了中国科学技术大学化学物理学士学位,随后保送进入物理系进行凝聚态物理研究。苏兴才博士拥有多项美国和中国发明专利,曾在国际有影响力的刊物上发表过多篇文章。

      郭世平(8820硕)副总裁,MOCVD产品部总经理

      郭世平博士现任中微公司副总裁兼MOCVD产品事业部总经理,主要从事MOCVD设备的开发和管理工作。郭世平博士具有25多年从事化合物半导体材料外延工艺开发、设备研发及营运的经验,2001年至2006年历任美国EMCORE公司研究员,资深研究员,2006年至2012年在美国IQE-RF公司历任资深研究员,氮化镓部门营运和研发总监,主要从事氮化镓晶体管和发光材料MOCVD外延生长的研发和营运工作。他于1994年从中国科学技术大学硕士毕业,1994年在中国科学院上海技术物理研究所博士毕业并留所工作,1995年获晋升为副研究员,从事红外探测器MBE外延工艺研究。1996年他赴日本东北大学访问并从事纳米材料研究。1998年至2001年他在美国纽约市立大学从事博士后工作。